Il controllo dell'umidità nella produzione di semiconduttori viene usato per impedire l'accumulo di elettricità statica, per impedire variazioni dimensionali delle superfici della fetta di silicio e per raffreddare l'ambiente di produzione.

Qualsiasi scarica di elettricità statica durante la produzione può danneggiare la superficie dei semiconduttori e diminuire notevolmente la produttività. Il processo produttivo genera calore e questo a sua volta asciuga l'aria. Siccome l'aria secca facilita l'accumulo di elettricità statica, vengono usati gli umidificatori per mantenere l'atmosfera a circa il 55% di umidità relativa (%UR). Ciò favorisce la dissipazione naturale dell'elettricità statica eliminando il rischio di danneggiare la superficie dei semiconduttori.

Tuttavia, le superfici stampate della fetta di silicio sono molto sensibili anche all'umidità. Se esposte a dei livelli di umidità scorretti, le superfici conduttive possono deformarsi durante la produzione. Un controllo estremamente rigoroso dell'umidità a ±0,1°C dal punto di rugiada è necessario ad intervalli di 40 minuti. Un'eventuale variazione maggiore di questa danneggia le superfici conduttive e il semiconduttore.

Gli umidificatori a vapore come il Neptronic SKE possono fornire questo controllo preciso quando vengono usati insieme al filtro dell'acqua ad osmosi inversa PureFlo.

Sebbene il vapore consenta un controllo estremamente rigoroso, possono essere impiegati degli umidificatori a nebulizzazione di acqua fredda speciali, come il JetSpray, dato che l'evaporazione dello spruzzo causa un raffreddamento adiabatico. Questo consente di abbassare le temperature durante la produzione e riduce la necessità di raffreddamento.

JS Umidificatori offre un umidificatore JetSpray su misura per la fabbricazione di semiconduttori che include una valvola di regolazione frazionaria, ciò permette il controllo preciso e costante necessario per questa applicazione. Questo metodo non fornisce solo il raffreddamento, ma inoltre è più economico del vapore perché usa dell'acqua fredda.

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